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Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):

N. Cazier, P. Sadeghi, M. Shawrav, A. Steiger-Thirsfeld, S. Schmid:
"Gap plasmon resonance in electromagnetically-actuated nanomechanical silicon nitride strings";
Poster: Microelectronic Systems Symposium (MESS18), Wien; 12.04.2018 - 13.04.2018; in: "MESS 18 Microelectronic Systems Symposium", OVE, Band 91 (2018), 978-3-903249-01-0; 1 S.



Kurzfassung englisch:
We present a new kind of electromagneticallyactuated
nanoplasmomechanical string resonator. This
nanomechanical resonator is made of two gold covered silicon
nitride (SiN) strings separated by a 100 nm wide gap. These
strings were cut into a SiN membrane with FIB milling, as
shown in the SEM image of the resonator on Figure 1.

Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universitšt Wien.