[Zurück]


Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):

M. Shawrav, M.-H. Chien, H. D. Wanzenböck, E. Bertagnolli, S. Schmid:
"Novel fabrication and characterization approach for plasmonic nanostructures";
Poster: Microelectronic Systems Symposium (MESS18), Vienna; 12.04.2018 - 13.04.2018; in: "MESS 18 Microelectronic Systems Symposium", OVE, 91 (2018), ISBN: 978-3-903249-01-1; 1 S.



Kurzfassung englisch:
gold is attractive materials for plasmonic structures due to its suitable electric permittivity. Focused Electron Beam Induced Deposition (FEBID)is a mask-less, resistless method where gold nanostructures can be deposited inside of a scanning electron microscope in one process step with the help of gas injection system (GIS).

Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universitšt Wien.