Buchbeiträge:
X. Klemenschits, S. Selberherr, L. Filipovic:
"Modeling of Gate Stack Patterning for Advanced Technology Nodes: A Review";
in: "Miniaturized Transistors",
L. Filipovic, T. Grasser (Hrg.);
MDPI,
2019, (eingeladen),
ISBN: 978-3-03921-010-7,
S. 105
- 135.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.3390/books978-3-03921-011-4
Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2019/BC2019_Klemenschits_1.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.