[Zurück]


Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):

A. Toifl, M. Quell, A. Hössinger, A. Babayan, S. Selberherr, J. Weinbub:
"Novel Numerical Dissipation Scheme for Level-Set Based Anisotropic Etching Simulations";
Vortrag: International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD), Udine, Italy; 04.09.2019 - 06.09.2019; in: "Proceedings of the International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD)", (2019), ISBN: 978-1-7281-0938-1; S. 327 - 330.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/SISPAD.2019.8870443

Elektronische Version der Publikation:
http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2019/CP2019_Toifl_1.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.