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Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):

R. Schroedter, M. Schwarzenberg, K. Janschek, J. Grahmann:
"Rasterscan mit ruckbegrenzten Trajektorien für quasi-statisch/resonante Mikroscanner";
Vortrag: Fachtagung Mechatronik 2019, Paderborn; 27.03.2019 - 28.03.2019; in: "Tagungsband Fachtagung Mechatronik", (2019), ISBN: 978-3-945437-05-6; S. 155 - 160.



Kurzfassung deutsch:
Zahlreiche miniaturisierte Anwendungen, wie die Bildprojektion, Entfernungssensorik (LIDAR) und Spektroskopie ver-wenden Mikroscanner zur gezielten Strahlführung von Lasern. Die am Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme (FhG-IPMS) in Dresden verwendete CMOS-kompatible Technologie ermöglicht die Herstellung kardanisch aufgehängter Mikroscanner aus einkristallinem Silizium mit einer äußeren quasi-statischen und einer inneren resonanten Achse. Der damit realisierbare Rasterscan zeigt sich in vielen Anwendungen im Hinblick auf die Bildauflösung und Scangeschwin-digkeit vorteilhaft gegenüber doppelt-resonanten oder spiralförmigen Scanformen. Dieser Beitrag fokussiert sich auf den Trajektorienentwurf für den Rasterscan mit quasi-statisch/resonanten Mikroscannern, um die benötigte Eigenfrequenz für den darauffolgenden Mikroscannerentwurf abzuleiten. Aufgrund der inhärent extrem geringen Dämpfung des Mikroscan-ners wird die quasi-statische Achse mit ruckbegrenzten dreieck- oder sägezahnförmigen Trajektorien betrieben. Auf Basis einer Matlab/Simulink-Simulation werden die bei Steuerung und Regelung beider Achsen typisch erreichbaren Genauig-keiten in der Winkelauflösung abgeleitet. Bezogen auf verschiedene Anwendungsszenarien werden die analytischen und simulativen Ergebnisse mit experimentellen Messungen verglichen. Abschließend wird der resultierende Entwurfsraum für rasterscannende Mikrospiegel und deren Entwicklungspfad abgeleitet.

Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.