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D. Platz, A. Gesing, U. Schmid:
"Modellierung der Fluiddämpfung unkonventioneller Schwingungsmoden in MEMS-Resonatoren - Modelling fluid damping of non-conventional vibrational modes in MEMS resonators";
Talk: MikroSystemTechnik Kongress 2019, Berlin, D; 10-28-2019 - 10-30-2019; in: "MikroSystemTechnik Kongress 2019 - Proceedings", VDE Verlag GMBH, (2019), ISBN: 978-3-8007-5090-0; 278 - 281.

We present a method for numerically simulating resonance frequencies and quality factors of non-conventional vibrational
eigenmodes of MEMS resonators in fluids. Non-conventional eigenmodes can be found in MEMS resonators which are
modeled by the Kirchhoff Love equation.We use a discontinuous Galerkin method for numerically solving the Kirchhoff
Love equation and describe the fluid dynamics with a boundary integral ansatz.With these methods we simulate the fluid
structure interaction of non-conventional vibrational eigenmodes of MEMS resonators in fluids and use this approach for
quantitative predictions of resonance frequencies and quality factors.

Wir stellen eine Methode zur numerischen Berechnung der Resonanzfrequenz und des Gütefaktors von nichtkonventionellen
Vibrationsmoden von MEMS-Resonatoren in Fluiden vor. Nicht-konventionelle Vibrationsmoden treten
bei MEMS-Resonatoren auf, deren elastisches Verhalten durch die Kirchhoff-Love-Gleichung modelliert wird. Wir nutzen
eine diskontinuierliche Galerkin-Methode zur numerischen Lösung der Kirchhoff-Love-Gleichung und beschreiben
die Fluiddynamik mittels eines Randintegralansatzes. Mit diesen Methoden simulieren wir die Fluid-Struktur-Interaktion
von nicht-konventionellen Vibrationsmoden von MEMS-Resonatoren in Fluiden und nutzen diesen Ansatz für quantitative
Vorhersagen von Resonanzfrequenzen und Gütefaktoren.