Publikationseintrag

Zeitschriftenartikel:

J. Cervenka, H. Ceric, S. Selberherr:
"Three-Dimensional Simulation of Sacrificial Etching";
Proceedings of SPIE, 6589 (2007), S. 452 - 460.

"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)

http://dx.doi.org/10.1117/12.721979

Elektronische Version der Publikation:

http://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2007/CP2007_Cervenka_1.pdf