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M. Schneider, G. Pfusterschmied, F. Patocka, U. Schmid:
"MEMS Sensoren in hochviskosen Flüssigkeiten - Hohe Gütefaktoren durch maßgeschneiderte, piezoelektrische Resonatoren";
GIT, 64. Jahrgang (2020), 4-5; 36 - 38.

Das Forschungs- und Anwendungs-
gebiet der Silizium-basierten mi-
kro-elektromechanischen Systeme
(MEMS) hat in den vergangenen Jahr-
zehnten maßgeblich dazu beigetragen,
elektronische Systeme zuverlässig durch
Sensoren und Aktuatoren mit ihrer Um-
welt zu verbinden. Mit MEMS Sensoren
können heutzutage Schalldruck, Beschleu-
nigungen, Drehraten, aber auch chemische
Größen, wie die Gaszusammensetzung oder
die Feuchtigkeit, hochgenau und konti-
nuierlich gemessen werden, wodurch ein
enormer Funktionszuwachs insbesondere
in tragbaren Geräten erreicht wird. Speziell
für dieses Anwendungsgebiet sind grund-
sätzlich MEMS Sensoren auf Basis von
low-power Wandlerprinzipien (kapazitiv,
piezoelektrisch) zu bevorzugen. Für kon-
tinuierliche Messungen von physikalischen
Flüssigkeitseigenschaften wie Viskosität
oder Dichte gibt es allerdings bislang noch
keine kommerziell erfolgreichen Sensoren
in Silizium-Mikrotechnik. Um ein mög-
lichst breites Spektrum von mobilen und
stationären Anwendungsszenarien abzude-
cken, sind in Flüssigkeiten piezoelektrische
MEMS Sensoren auf Grund ihrer kompak-
ten Ausführungsform ideal geeignet.