Zeitschriftenartikel:
M. Simon, R. Mizuta, Y. Fan, A. Tahn, D. Pohl, J. Trommer, S. Hofmann, T. Mikolajick, W. Weber:
"Lateral Extensions to Nanowires for Controlling Nickel Silicidation Kinetics: Improving Contact Uniformity of Nanoelectronic Devices";
ACS Applied Nano Materials,
4
(2021),
S. 4371
- 4378.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1021/acsanm.0c03072
Elektronische Version der Publikation:
https://publik.tuwien.ac.at/files/publik_296150.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.