Patente:
M. Hutterer:
"Ep3633204 - Vacuum Pump";
Patent: Deutschland,
Nr. 19195628.3;
eingereicht: 05.09.2019,
erteilt: 01.10.2021.
Kurzfassung deutsch:
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfassend: einen Rotor, der zum Bewirken einer Pumpwirkung zu einer Drehbewegung antreibbar ist; ein erstes und ein zweites Radiallager für den Rotor, wobei das erste Radiallager ein aktiv geregeltes Magnetlager ist und wobei das zweite Radiallager als passives Magnetlager ausgebildet ist; eine erste Radialsensoranordnung zur Bestimmung einer Radialauslenkung des Rotors in einem ersten Axialbereich; und eine zweite Radialsensoranordnung zur Bestimmung einer Radialauslenkung in einem zweiten, vom ersten verschiedenen Axialbereich.
Elektronische Version der Publikation:
https://worldwide.espacenet.com/patent/search/family/067874345/publication/EP3633204A1?q=EP%203633204
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.