J. Konrath, R. Kern, S. Krivec, L Stöber, U. Schmid:
"Method for Manufacturing a Semiconductor Device Having a Schottky Contact";
Patent: Deutschland, Nr. DE 10 2015 101 966 B4; eingereicht: 11.02.2015, erteilt: 08.07.2021.
Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements mit Schottkykontakt und Halbleiterbauelement