J. Konrath, R. Kern, S. Krivec, L Stöber, U. Schmid:
"Method for Manufacturing a Semiconductor Device Having a Schottky Contact";
Patent: Deutschland, No. DE 10 2015 101 966 B4; submitted: 2015-02-11, granted: 2021-07-08.
Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements mit Schottkykontakt und Halbleiterbauelement