[Zurück]


Vorträge und Posterpräsentationen (mit Tagungsband-Eintrag):

J. Franco, J. Marneffe, A. Vandooren, Y. Kimura, L. Nyns, Z. Wu, A.-M. El-Sayed, M. Jech, D. Waldhör, D. Claes, H. Arimura, L. Ragnarsson, V. Afanas´Ev, N. Horiguchi, D. Linten, T. Grasser, B. Kaczer:
"Atomic Hydrogen Exposure to Enable High-Quality Low-Temperature SiO2 with Excellent pMOS NBTI Reliability Compatible with 3D Sequential Tier Stacking";
Vortrag: IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM), San Francisco, CA, USA; 12.12.2021 - 18.12.2021; in: "Proceedings of the IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)", (2021), ISBN: 978-1-7281-8888-1; S. 31.2.1 - 31.2.4.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1109/IEDM13553.2020.9372054

Elektronische Version der Publikation:
https://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2021/CP2021_Grasser_2.pdf


Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.