Zeitschriftenartikel:
T. Reiter, X. Klemenschits, L. Filipovic:
"Impact of Plasma Induced Damage on the Fabrication of 3D NAND Flash Memory";
Solid-State Electronics (eingeladen),
192
(2022),
S. 108261-1
- 108261-9.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1016/j.sse.2022.108261
Elektronische Version der Publikation:
https://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2022/JB2021_Reiter_1.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.