Buchbeiträge:
C. Lenz, A. Scharinger, P. Manstetten, A. Hössinger, J. Weinbub:
"A Novel Surface Mesh Simplification Method for Flux-Dependent Topography Simulations of Semiconductor Fabrication Processes";
in: "Scientific Computing in Electrical Engineering",
M. van Beurden, N. Budko, W. Schilders (Hrg.);
Springer,
2021,
ISBN: 978-3-030-84238-3,
S. 73
- 81.
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1007/978-3-030-84238-3_8
Elektronische Version der Publikation:
https://www.iue.tuwien.ac.at/pdf/ib_2021/BC2021_Lenz_2.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.