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Zeitschriftenartikel:

M. Sistani, R Böckle, L. Wind, K. Eysin, X. Maeder, P. Schweizer, J. Michler, A. Lugstein, W. Weber:
"Polycrystalline Ge Nanosheets Embedded in Metal‐Semiconductor Heterostructures Enabling Wafer‐Scale 3D Integration of Ge Nanodevices with Self‐Aligned Al Contacts";
Advanced Electronic Materials, 7 (2021), 5; S. 2100101-1 - 2100101-9.



"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1002/aelm.202100101

Elektronische Version der Publikation:
https://publik.tuwien.ac.at/files/publik_295979.pdf