Zeitschriftenartikel:
F. Toth, H. Hassanpour Guilvaiee, G. Jank:
"Acoustics on small scales - Modelling viscous effects in MEMS devices";
e & i Elektrotechnik und Informationstechnik,
138
(2021),
155-161;
7 S.
Kurzfassung deutsch:
Wir präsentieren eine Finite Elemente-Modellierungsstrategie für flexible und piezoelektrisch erregte Strukturen, welche von einemviskosen, kompressiblen Fluid umgeben sind. Die unterschiedlichen Bereiche werden anhand der Nitsche-Methode für nicht-konformeGitter miteinander gekoppelt. Ein abschließendes Anwendungsbeispiel einer piezoelekt
Kurzfassung englisch:
We present a modelling strategy based on the finite element method to describe flexible, piezoelectric structures surrounded bya compressible fluid, including viscosity. Non-conforming interfaces based on the Mortar method are used to couple the differentphysical domains. Finally, we present an application example of a piezoelectrically actuated MEMS structure to illustrate the modelingprocedure and the impact of viscous effects.
Schlagworte:
MEMS-Akustik; Viskosität; nicht-konforme Gitter; Finite Elemente-Methode; MEMS
"Offizielle" elektronische Version der Publikation (entsprechend ihrem Digital Object Identifier - DOI)
http://dx.doi.org/10.1007/s00502-021-00875-4
Elektronische Version der Publikation:
https://publik.tuwien.ac.at/files/publik_301751.pdf
Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universität Wien.